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中国国产28纳米浸墨式光刻机: 创新之路越发坚

发布日期:2023-08-06 16:04浏览次数:
    随着美国对中国实施进一步的半导体管制措施,每日和三方达成协议,9月1日起限制中国从荷兰、日本购买28纳米duv光刻机。中国也针锋相对提出反制措施,在8月1日加强了对加者两种半导体关键金属的出口管制。这一系列动作引起了广泛关注,让我们来探讨一下美日和对中国28纳米光刻机的管制措施能达到预期目的吗?
 中国国产28纳米浸墨式光刻机: 创新之路越发坚定
    近日市场传出了中国国产光刻机即将迎来大突破的好消息,上海微电子生产的国内首台28纳米浸墨式光刻机SSA80010W光刻机预计将于年底交付。这一消息凸显出中国在光刻机制造领域取得了巨大进步,而浸墨式光刻技术更是为中国半导体技术发展带来了新的可能性。
 
    在传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气。而浸墨式技术则是将介质换成液体。在光刻过程中,浸墨式光刻机通过注入液体,在光刻胶和硅片之间形成一个液体层,从而减少了光线的散射和衍射效应,实现了更高的分辨率和精度,为28纳米以下光刻工艺的突破奠定了基础。
 
    目前,全球能生产浸墨式duv光刻机的国家只有荷兰和日本,其中荷兰ASML公司是全球最大的光刻机制造商,其技术和设备在全球半导体芯片制造行业中占有重要地位。然而,在美、日和三方协议下,中国从荷兰、日本购买28纳米duv光刻机将变得不那么容易。这时,中国自主研发的28纳米浸墨式光刻机的交付显得尤为重要。
 
    中国国产28纳米光刻机的交付有望打破美日和对中国的封锁,为国产芯片制造商和设备制造商带来双赢的局面。一方面,它有望提升国内芯片制造能力,减少对进口设备的依赖,并降低生产成本。另一方面,国产光刻机的成功将完善芯片制造产业链,提高国内产业链的自主可控能力,助力中国半导体产业向更高端、更自主发展。
 
    虽然28纳米光刻机相对于目前较为先进的五纳米以下光刻机来说在技术上存在差距,但是28纳米制成芯片已经能够满足中国绝大部分车规芯片、通讯基站芯片的需求,涵盖中国75%的芯片使用量。因此,中芯国际之前主要把精力都放在了28纳米制成产能的扩产上。去年中芯国际28纳米产能利用率达到了100%,在全球半导体行业相对低迷期,总营收达到了495.16亿元,依然实现了盈利和增长。这也显示出中国在28纳米技术方面已经取得了可喜的成绩。
 
    华为的5G芯片将于今年年底回归结合。上海微电子生产的国内首台28纳米浸墨式光刻机SSA80010W光刻机年底交付的消息,不仅为中国半导体产业注入了新的动力,也让外界期待中国在半导体领域的更多成就。面对美日和的管制措施,中国半导体产业正在以创新和自主研发为引擎,努力实现技术自立,这也许是美国始料未及的挑战。中国的半导体技术发展的步伐愈发坚定,世界将继续见证中国半导体产业的崛起。
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