PE/LP CVD化学气相淀积设备

*对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作等实现自动控制。
*具有完善的报警功能及安全互锁装置。
*具有良好的人机界面，灵活的工艺性能。
*具有良好的工艺性能，使用范围广泛。